Beschichtungen aus Siliziumcarbid und Borcarbid haben sich als spezielles Oxidationsschutzschichtsystem für Kohlenstoff-Faserkeramiken und Graphit etabliert. Durch alternierende chemische Gasphasenabscheidung lassen sich Mehrlagen-Schichten mit laminarem Aufbau erzeugen. Als Precursor werden dabei unterschiedliche metallorganische Verbindungen eingesetzt.

Eines der populärsten Beispiele für den Oxidationsschutz mittels SiC/B4C-Beschichtung ist die Nose Cap für das Space Shuttle der NASA. Die hohe thermische und mechanische Beständigkeit dieser Materialien zeigt sich an ihrer außergewöhnlichen Haltbarkeit: Die mit SiC/B4C-beschichteten CFC-Verbundwerkstoffe halten bis zu 120 Wiedereintritte in die Erdatmosphäre aus!